بخشی از متن:
چکیده:
این روش رایج مشخصه سازی لایههای نازک، با استفاده از
پرتوهای یونی سبک و پرانرژی (چند صد مگا الکترون ولت) انجام میشود. چنین
پرتوهایی میتوانند هزاران آنگسترم یا حتی چند میکرون به عمق لایه و یا
ترکیب لایه/ زیرلایه نفوذ کنند. این پرتوها باعث کندوپاش جزیی اتمهای سطح
شده و در عوض یونهای فرودی انرژی خود را از طریق یونیزاسیون و تحریک
الکترونهای اتمهای هدف از دست میدهند. این برخوردهای الکترونی آنقدر زیاد
است که میتوان گفت افت انرژی حاصله همواره با عمق ماده مناسب است. از
تحلیل افت انرژی یون های بازگشتی می توان اطلاعاتی راجع به ضخامت لایه و
نوع عناصر به دست آورد.
فهرست مطالب:
چکیده
اصول فیزیکی
تجهیزات مورد استفاده در RBS
مزایا و معایب RBS
کاربردهای RBS
آنالیز پس پراکندگی رادر فورد RBS
تحلیل فرآیند
لینک فیلم آموزشی
مراجع
در پایان فایل نیز لینک فیلم آموزشی آنالیز پراکندگی بازگشتی رادرفورد RBS برای شما قرار داده شده است.